Helium pressurization and recovery deviceヘリウム加圧・回収装置
Helium pressurization and recovery device
ヘリウム加圧・回収装置
主に、スニファー検査（手動検査）を想定し、仕様も限定して低コストを達成した当社の意欲作です。
加圧シリンダポンプと回収シリンダポンプを兼用することで、維持管理を容易にし、イニシャルコストの低減も同時に達成しています。また、このアイテムは、当社が製作している完全なオリジナル製品です。従来の真空ポンプを使用して真空タンクに回収する方式と比較して、回収したガス濃度の圧倒的な安定性を誇ります。
なお、この装置はヘリウム以外の不活性ガスにも使用できます。
外観（参考用）
※外観・寸法は変更する場合があります。
仕様（国内仕様）
| 型式 | KW4-0.9型 |
|---|---|
| 最大ワーク内容積 | 2リットル以内 |
| 最大封入圧力 | 0.9MPa G |
| ワーク内 真空引き時間 | ※技術資料1 真空引き時間 参照。 |
| He封入時間 | 最長40sec |
| He回収時間 | 最長40sec |
| 回収率 | 最大99%（負圧まで回収した場合。） ※技術資料2 回収率 参照。 |
| 操作/表示 | タッチパネル 5.7インチカラーを使用 |
| サイズ | 600幅、600奥行、1,400高さ mm |
| 重量 | 約190kg |
| 電源 | 100V 15A |
| 駆動源 | ドライエアー 0.5〜0.7MPa |
| オプション | He+N2混合機 20L/min He分析計（ユニット機器 含む。） 負圧回収機構 |
Configuration diagram
機器 構成図
※この商品の仕様と価格は、予告なしに変更する場合があります。あらかじめ、ご了承ください。
Outline follow-up
加圧・回収機構の概略フロー
Technical data
技術資料1 真空引き時間
※2Lの容器内を100L/minの真空ポンプで真空引きしたデータです。ワークの種類、状態により真空引き時間は異なります。
| 真空引き時間 （Sec） |
圧力 Pa（Abs） |
|---|---|
| 10 | 600 |
| 11 | 490 |
| 12 | 380 |
| 13 | 310 |
| 14 | 260 |
| 15 | 230 |
| 16 | 210 |
| 17 | 190 |
| 18 | 170 |
| 19 | 150 |
| 20 | 140 |
| 25 | 110 |
| 30 | 100 |
Technical data
技術資料2 回収率
| 封入圧力 （MPaG） |
大気圧まで回収した場合の回収時間（Sec） | 大気圧まで回収した場合の回収率（%） | 負圧（-0.09MPaG）まで回収した場合の回収率（%） |
|---|---|---|---|
| 0.9 | 40 | 90 | 99 |
| 0.8 | 40 | 89 | 99 |
| 0.7 | 40 | 88 | 99 |
| 0.6 | 40 | 86 | 99 |
| 0.5 | 40 | 83 | 98 |
| 0.4 | 40 | 80 | 98 |
| 0.3 | 40 | 75 | 98 |
| 0.2 | 40 | 67 | 97 |
※回収率は、2Lの容器内にHeを封入して回収したデータです。ワークの種類、状態により回収率は異なります。
※負圧まで回収した場合、回収時間は上記 一覧表 記載時間の約2倍に長くなります。
※負圧回収するには、負圧回収 機構のオプションが必要となります。
How to use
使用方法 参考例
現在、スニファー検査（手動検査）を実施しているお客様には、特にお勧めさせていただきます。
ワークと加圧・回収装置を接続する（接続部はユーザー様 用意）
スタートスイッチを押す
ワーク内部の真空引きが始まります。真空引きは、あらかじめ設定された時間に到達すると終了し、次に、自動でヘリウムの封入が始まります。なお、ヘリウムの封入圧力も予め設定しておきます。
リーク検査を行う（ヘリウム リークデクタはユーザー様 用意）
ヘリウム リークデテクタでリーク検査（スニファー検査）を行ってください。
回収スイッチを押す
ワーク内部のヘリウムを自動回収後、ワーク内部を真空引きします。
ここがポイント
最後に真空引きをするのは、回収後ワークを外した時、ワーク内に残っているヘリウムが大気中に出て、バックグラウンドを汚染して次の検査に支障が出るのを防ぐためです。
ワークと加圧・回収装置を外す
ヘリウムが回収されて、リーク検査が終了しました。
Precautions
注意事項
この装置は、必ず次の工程を厳守して使用してください。ワークを装置に隣接させて接続後、真空引き/封入工程〜リーク検査工程後、ヘリウム回収を実施した後でないと、次のワークの真空引き/封入工程は行えません。ワークへのヘリウム連続封入、連続回収はできません。