ヘリウムリーク検査の概要

ワ－ク内部　加圧方式

ワ－ク内部に加圧した（検査圧力の）ヘリウム（He）を封入して、ワ－クの外側に漏れて出てきたヘリウムを、ヘリウム リ－ク デテクタで検出する方法です。もっとも一般的と言われている検査方法で、更に次の様な検査方法に大別できます。

ワ－ク内部 真空吹付け方式

ワ－ク内部を粗引き真空ポンプで真空排気後、ヘリウム リ－ク デテクタで真空排気して、ワ－クの外側からヘリウムを吹付けて、ワ－ク内側に浸入してきた（漏れてきた）ヘリウムを、ヘリウム リ－クデテクタで検出する方法です。尚、ヘリウムを吹付ける際に検査精度を向上させる為に、ワ－クをフ－ドで囲い検査を行います。（フ－ド内部でヘリウムを吹付けます。）

※ワ－ク内部を粗引き真空ポンプで真空排気する理由は２つあります。１つめは真空度により大漏れを見つける事です。接続カプラの接続不良等もこの工程で発見する事ができます。２つめはHeリ－クデテクタは、その機能上　一定圧力以下の導入圧力でないと発動できません。（使用できません。）その為、一定圧力以下（メ－カ－により異なるが、だいたい200Pa以下。）になるまで、粗引き真空ポンプで真空排気するわけです。